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萬噸級三氯氫硅生產成套技術(專利)

1、三氯氫硅主要用途

三氯氫硅(HSiCl3)是一種用途非常廣泛的有機硅單體,是生產半導體硅、單晶硅和多晶硅的重要原料,亦是合成有機硅烷和烷基、芳基以及有機官能團氯硅烷最基本的單體。隨著多晶硅及有機硅烷偶聯劑工業的發展,尤其是精細化工、有機硅產業、電子產品、光纖通訊等行業的快速發展,為三氯氫硅的生產和下游產品的開發提供了巨大的市場空間和機遇。對氯堿企業而言,三氯氫硅還是一個可規劃的產值高、有發展前途的產品,投資小,見效快,具有很好的經濟效益,市場開發潛力大。


2、三氯氫硅市場需求

三氯氫硅主要用做硅烷類偶聯劑和多晶硅的中間體,目前我國硅烷類偶聯劑和多晶硅產品需求都很旺盛。

國際上(包括中國)的多晶硅生產技術主要采用改良西門子法,即用氯和氫合成氯化氫(或外購氯化氫),氯化氫再與工業硅粉在一定溫度下合成三氯氫硅,隨后對三氯氫硅進行分離精餾提純,提純后的三氯氫硅在氫還原爐內進行CVD反應生產多晶硅。這說明,生產廠商只要外購到生產多晶硅的核心原料如三氯氫硅,就完全可以在其他地區生產多晶硅。經過我們的調查,目前大部分多晶硅生產廠商基本上以外購原材料為主。

3、晨光院三氯氫硅技術優勢

三氯氫硅采用硅粉與氯化氫氣體在流化床反應器中生成,在生產中消耗大量的氯氣和氫氣,是氯堿企業的種很好的提高經濟效益的氯平衡產品。
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